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廣泛應用于材料、冶金、機械、化工、半導體與器件、地質礦產、生物、醫學、刑偵、災害分析、珠寶鑒定、工業產品質量檢測及生產工藝控制等。可進行高分辨微觀組織分析、失效分析、化學成分分析、相鑒定和晶體取向分析等。