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廣泛應用于半導體集成電路修改、離子束沉積、離子束刻蝕以及定點制備高質量TEM樣品，以及材料、冶金、集成電路、地質礦產、生物醫學、化工、刑偵、災害分析、珠寶鑒定、工業產品質量檢測及生產工藝控制等。可對金屬、半導體、電介質、多層膜等材料進行微納尺度的表征以及加工，對材料形貌、成分、物相及結構進行快速分析，可實現三維形態與結構分析，可進行原位拉伸以及原位加熱分析。