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可超高分辨率地分析各類固態物質的微觀組織、晶體缺陷、磁疇、晶體結構、原子分辨率的元素分布、晶格排列和原子排列等，可在原子級別原位動態研究材料的相變、形變、遷移、化學反應、電化學、催化等過程，可對微觀組織、缺陷、原子排列等進行三維觀察。廣泛應用于材料、物理、化學化工、生物醫學、地質礦產、芯片、納米技術、催化等領域。