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儀器設(shè)備
Gatan 697 IlionII|氬離子拋光儀
用于樣品的截面制備及平面拋光的桌面型制樣設(shè)備,以便樣品在SEM及其它設(shè)備上進(jìn)行檢測分析。可利用Gatan 697 IlionII進(jìn)行拋光加工的材料種類十分廣泛,可高質(zhì)量制備焊縫截面,集成電路焊點,多層薄膜截面,顆粒、纖維斷面,復(fù)合材料、陶瓷、金屬及合金、巖石礦物及其他無機(jī)非金屬等各種材料的SEM、EBSD樣品。
參數(shù)
離子槍:潘寧式離子槍,裝載微小磁鐵
參數(shù)
減薄角度:+10°到 -10°,每支槍可獨(dú)立調(diào)節(jié)
參數(shù)
拋光速率:硅,每小時300μm
參數(shù)
冷臺部分:帶有液氮冷臺,以及控溫系統(tǒng),一次加注液氮續(xù)航能力6-8小時,冷卻溫度最低 -120℃左右
參數(shù)
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其他設(shè)備儀器
Themis Z|球差校正透射電子顯微鏡
Talos F200S G2|場發(fā)射透射電子顯微鏡
TESCAN VEGA3|鎢燈絲掃描電子顯微鏡
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