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可測量各種材料的表面機械特性，包括最硬的類金剛石和最軟的水凝膠。納米壓痕和微米壓痕提供薄膜、涂層或基體的表面機械力學特性，如硬度和彈性模量、蠕變、疲勞、應力應變、彈塑性能。劃痕用于表征膜、基體的特性，并量化結(jié)合強度和摩擦力等參數(shù)，從而確定結(jié)合力、耐刮傷性和耐磨損性，即使在曲面也可進行測試。